AG »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse« 19. März 2015 BÜHLER Alzenau GmbH, 63755 Alzenau Trägergesellschaft © 2015 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik INPLAS e.V. www.inplas.de AG »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse« Themenschwerpunkt: Mikrowellenplasmen Agenda | 19. März 2015 | BÜHLER Alzenau GmbH | Alzenau 10:00 Uhr Begrüßung (Herr Dr. Cord | Singulus Technologies AG) 10:10 Uhr Vorstellung der BÜHLER Alzenau GmbH Dr. Jutta Trube | BÜHLER Alzenau GmbH 10:30 Uhr Mikrowellen Plasmatechnologie für Vakuumbeschichtungen in Produktion und Entwicklung Dr. Michael Liehr | W + L Coating Systems 11:10 Uhr Mikrowellenplasmaquellen für die Plasmaoberflächen- und -beschichtungstechnologie Dr. Klaus Baumgärtner | MUEGGE GmbH 11.50 Uhr Microwave technology: potential for improvement of existing industrial DLC- technologies Ivan Kolev | IHI Hauzer Techno Coating B. V. 12.30 Uhr Mittagessen 13:30 Uhr Entwicklung einer Hochleistungsmikrowellenplasmaquelle und Integration derselben in eine industrielle Beschichtungsanlage Privatdozent Dr. Sven Ulrich | Karlsruher Institut für Technologie (KIT) 14:10 Uhr Sonstiges, nächste Schritte, Projekte, Termine 15:00 Uhr Führung durch die BÜHLER Alzenau GmbH 16:00 Uhr Ende des Treffens © 2015 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik INPLAS e.V. www.inplas.de AG »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse« Themenschwerpunkt: Mikrowellenplasmen Kontakt und Anfahrt Bühler Alzenau GmbH (ehemals Leybold Optics GmbH) Siemensstr. 88 63755 Alzenau www.buhlergroup.com Kontakt Name: Dr. Jutta Trube Telefon: +49 6023 500-164 E-Mail: [email protected] © 2015 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik INPLAS e.V. www.inplas.de AG »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse« Themenschwerpunkt: Mikrowellenplasmen Hotelempfehlung © 2015 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik INPLAS e.V. www.inplas.de
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