AG »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse«
19. März 2015
BÜHLER Alzenau GmbH, 63755 Alzenau
Trägergesellschaft
© 2015 Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik INPLAS e.V.
www.inplas.de
AG »Neuartige Plasmaquellen und -prozesse«
Themenschwerpunkt: Mikrowellenplasmen
Agenda | 19. März 2015 | BÜHLER Alzenau GmbH | Alzenau
10:00 Uhr
Begrüßung (Herr Dr. Cord | Singulus Technologies AG)
10:10 Uhr
Vorstellung der BÜHLER Alzenau GmbH
Dr. Jutta Trube | BÜHLER Alzenau GmbH
10:30 Uhr
Mikrowellen Plasmatechnologie für Vakuumbeschichtungen in Produktion und
Entwicklung
Dr. Michael Liehr | W + L Coating Systems
11:10 Uhr
Mikrowellenplasmaquellen für die
Plasmaoberflächen- und -beschichtungstechnologie
Dr. Klaus Baumgärtner | MUEGGE GmbH
11.50 Uhr
Microwave technology: potential for improvement of existing industrial DLC- technologies
Ivan Kolev | IHI Hauzer Techno Coating B. V.
12.30 Uhr
Mittagessen
13:30 Uhr
Entwicklung einer Hochleistungsmikrowellenplasmaquelle und Integration derselben in
eine industrielle Beschichtungsanlage
Privatdozent Dr. Sven Ulrich | Karlsruher Institut für Technologie (KIT)
14:10 Uhr
Sonstiges, nächste Schritte, Projekte, Termine
15:00 Uhr
Führung durch die BÜHLER Alzenau GmbH
16:00 Uhr
Ende des Treffens
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Themenschwerpunkt: Mikrowellenplasmen
Kontakt und Anfahrt
Bühler Alzenau GmbH
(ehemals Leybold Optics GmbH)
Siemensstr. 88
63755 Alzenau
www.buhlergroup.com
Kontakt
Name: Dr. Jutta Trube
Telefon: +49 6023 500-164
E-Mail: [email protected]
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