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H
디지매틱 스케일 및
DRO 시스템
목차
디지매틱 스케일 유닛
앱솔루트 방수 디지매틱 스케일 유닛
앱솔루트 디지매틱 스케일 유닛
리니어 스케일
리니어 엔코더 시스템
AT103 리니어 스케일
AT116 리니어 스케일
AT113 리니어 스케일
AT112 리니어 스케일
AT181 리니어 스케일
AT402E 리니어 스케일
AT715 리니어 스케일
KA 카운터
KLD200 카운터
디지매틱 스케일 유닛
리니어 스케일
PSU-200
AT203 리니어 스케일
AT216-T/AT216-TL 리니어 스케일
AT211A / AT211B 리니어 스케일
AT300 리니어 스케일
AT500 리니어 스케일
ST700 리니어 스케일
ST24/ST44 리니어 스케일
ST36 리니어 스케일
ST422 리니어 스케일
ST46 리니어 스케일
2D 이미지 연산 엔코더
MICSYS-SA1
2D 이미지 연산
엔코더
ABS AT500-S
ABS AT500-H
ABS ST700
MICSYS-SA1
H-1
H-2
H-4
H-6
H-7
H-8
H-8
H-9
H-9
H-10
H-11
H-12
H-13
H-13
H-14
H-14
H-15
H-16
H-16
H-17
H-17
H-18
H-18
H-18
H-19
H
앱솔루트 방수 디지매틱 스케일 유닛
572 시리즈 ― IP66 방진 / 방수 보호 등급
특징
• 절대 영점을 설정하면 디지매틱 스케일
유닛이 “0.00” 이상의 지점에서 전원을
켰을 때 그 지점으로부터의 절대
이동거리를 표시한다 .
• 새로 채택된 검출 방식 (전자기 유도
방식) 으로 물과 절삭유가 있는 열악한 작업
환경에서도 사용 가능하다.
• 특수 제작된 출력 케이블은 방수 구조를
유지하기 위해서 개발되었다.
• 절대값 리딩용 앱솔루트 스케일을 사용해
오버스피드 에러가 발생하지 않는다.
( 상세 내용은 VIII 페이지 참조 )
( 상세 내용은 VIII 페이지 참조 )
H
테크니컬 데이터
정도 : ±0.03mm (양자화 오차 제외 )
분해능 : 0.01mm
반복 정도 : 0.01mm
디스플레이 : LCD
길이 표준 : 앱솔루트 전자기 유도 리니어 엔코더
최대 응답 속도 : 무제한
배터리 : SR44 (1 개 ), 938882
배터리 수명 : 일반적인 사용시 약 1.5 년
방진 / 방수 보호 등급 : IP66
특징
미리
측정범위
0 - 100mm
0 - 150mm
0 - 200mm
주문번호
572-600
572-601
572-602
정도
0.03mm
0.03mm
0.03mm
기능
원점 설정 , 영점 설정 , 자동 전원 ON/OFF, 데이터 출력
경보표시 : 배터리 저전압 , 측정값 조합 에러시
옵션 악세서리
05CZA624: 데이터 스위치가 있는 SPC 케이블 (1m)
05CZA625: 데이터 스위치가 있는 SPC 케이블 (2m)
치수
단위:mm
L1
L2
4.6
31
16
6.6
32.6
57.5
40.9
8
2-M3x0.5
방진
먼지 침투가 있어서는 안됨
6 : 두번째 숫자 의미 :
모든 방향에서 강력한 제트 분류수로도 유해한 영향을 끼치도 않도록 보호함
6
35
24
15
7
12
10
H-2
1.6
2.3
13.5
3.5
IP67 보호 등급
6 : 첫번째 숫자 의미 :
측정범위 L1
L2
무게
100mm
150mm
200mm
185
235
287
390
410
430
209
259
311
미쓰도요의 앱솔루트 디지매틱 스케일 유닛은 거의
모든 장비에 설치할 수 있으며, LCD 판독의 장점과
데이터 저장 및 SPC 출력 등 정밀한 리니어 측정
능력을 제공한다.
사용 예
• 열악한 작업 환경에서의 테이블 등의 위치 결정
• 작업장 바닥에서 사용되는 측정 장비
• 구조 변위 측정
• 기계 공구의 위치 결정
• 실외 ( 우천시) 에서 사용할 수 있는 측정 장비
EC 카운터
특징
• 합 / 불 판정 기능을 가진 디지매틱
디스플레이 유닛은 대형 LED 표시를
제공한다 . 밝은 LED 판독은 조명이 적은
곳이나 카운터 자체의 디스플레이를 직접
볼 수 없는 곳에 스케일 유닛이 설치된
곳에서 이상적으로 사용할 수 있다 .
EC 카운터 : 542-007
H
방수 스케일 유닛
초점 맞춤
단기능 타입 스케일 유닛
디지매틱 미니 - 프로세서
DP-1VR: 264-504
장비 테이블의
위치 결정
RS-232C
출력
멀티플렉서
MUX-10F: 264-002
다기능 타입 스케일 유닛
절삭 장비
USB 를 통한
데이터 입력
데이터 입력 장치
입력 툴 : 264-012-10
다기능 타입 스케일 유닛
천공 장비
1
2
3
6
1. 05CZA624: 데이터 스위치가 있는 1m 케이블 (방수 스케일 유닛용)
05CZA625: 데이터 스위치가 있는 1m 케이블 (방수 스케일 유닛용)
2. 959149: 데이터 스위치가 있는 1m 케이블
959150: 데이터 스위치가 있는 1m 케이블
3. 905338: 1m 케이블
905409: 2m 케이블
4. 905689: 1m 케이블
905690: 2m 케이블
H-3
4
5
5. 905691: 1m 케이블
905692: 2m 케이블
6. 905693: 1m 케이블
905694: 2m 케이블
936937: 1m 케이블
965014: 2m 케이블
앱솔루트 디지매틱 스케일 유닛
572 시리즈
특징
H
• 원점 키는 측정 기준으로 사용되는앱솔루트
영점을 설정할 수 있다. 일단 설정하면
ABS 디지매틱 스케일 유닛은 표준 모델과
마찬가지로 이동시마다“0.00”에서 이동된
거리를 표시한다.
• ZERO/ABS 키는 점진적 비교 측정용
빔을 따라 어떤 슬라이드 위치에서도
디스플레이를 영점 설정 가능하다. 또한
절대 좌표로 돌아가서 원점으로부터의 실제
위치가 표시된다.
• 랙, 피니언, 글래스 스케일이 없다. 디지매틱
스케일은 경화 스테인레스 스틸 블레이드
안에 안전하게 내장되어 되어 있다.
• 스케일 장착 방향에 따른 수평 또는 수직 화면
• 직경 표시 기능이 있는 특수 타입은
선반용으로 사용할 수 있다 .
• 모든 유닛에는 두 개의 브라켓이 있으며,
스케일 양끝에 위치한다.
• SPC 데이터 출력
( 상세 내용은 VIII 페이지 참조 )
수평 단기능 타입
572-202-20
수평 다기능 타입
테크니컬 데이터
572-460
정도 : 사양 목록 참조 (양자화 오차 제외)
분해능 : 0.01mm
디스플레이 : LCD
길이 표준 : 앱솔루트 전자기 용량 타입 리니어 엔코더
최대 응답 속도 : 무제한
배터리 : SR44 (1 개 ), 938882
배터리 수명 : 일반적인 사용시 약 3.5 년
기능
수직 단기능
펑션 타입
원점 설정 , 영점 설정 , 자동 전원 ON/OFF, 프리셋팅 ,
데이터 홀드 , 데이터 출력 , 측정 방향 변환 *
경보표시 : 배터리 저전압 , 측정값 조합 에러시
수직 다기능
타입
* 단기능 모델은 이용할 수 없음
옵션 악세서리
959143: 단기능 타입용 데이터 홀드 유닛
959149: 단기능 타입용 데이터 스위치가 있는
SPC 케이블 (1m)
959150: 단기능 타입용 데이터 스위치가 있는
SPC 케이블 (2m)
905338: SPC 케이블 (1m, 표준)
905409: SPC 케이블 (2m, 표준)
905689: SPC 케이블 (1m, L 형 , 뒤 )
905690: SPC 케이블 (2m, L 형 , 뒤 )
905691: SPC 케이블 (1m, L 형 , 우)
905692: SPC 케이블 (2m, L 형 , 우)
905693: SPC 케이블 (1m, L 형 , 좌 )
905694: SPC 케이블 (2m, L 형, 좌 )
572-301-10
572-561
H-4
특징
미리
측정범위 주문번호
수평
100mm 572-200-20
572-460*
572-480-10**
150mm 572-201-20
572-461*
572-481-10**
200mm 572-202-20
572-462*
572-482-10**
300mm 572-203-10
572-463*
572-483-10**
450mm 572-464*
572-484-10**
600mm 572-465*
572-485-10**
800mm 572-466*
572-486-10**
1000mm 572-467*
572-487-10**
정도
수직
572-300-10
572-560*
572-580-10**
572-301-10
572-561*
572-581-10**
572-302-10
572-562*
572-582-10**
572-303-10
572-563*
572-583-10**
572-564*
572-584-10**
572-565*
572-585-10**
572-566*
572-586-10**
572-567*
572-587-10**
0.03mm
0.03mm
0.03mm
0.03mm
0.03mm
0.03mm
0.03mm
0.03mm
0.03mm
0.04mm
0.04mm
0.04mm
0.04mm
0.04mm
0.05mm
0.05mm
0.06mm
0.06mm
0.07mm
0.07mm
H
* 다기능 타입
** 선반용 직경 표시 기능을 가진 다기능 타입 (카운트 방향 변환 기능은 없음)
치수
단위:mm
수평 단기능 타입 (범위 : 100-200mm )
수평 단기능 타입 (범위 : 300mm )
L1
2-M3×0.5
4.6
13.5
40
6
4.6
6.6
15.1
7
2.5
12.4
1.6
3.8
수직 단기능 타입 (범위 : 100-300mm )
L1
L2
4.6
20
6.6
L1
L2
24
6
4.6
36
6.6
42
84
40
20
9
24
4
G
t
1.6
H
7
7
4-M3×0.5
1.6
H
20
22
4.6
6.6
36
42
6
t
7
72.1
24
2.5
1.6
12.4
1.6
12.4
1.6
12.4
2.5
18.1
3.8
7
7
4-M3×0.5
수직 다기능 타입 (범위 : 450-1000mm )
L1
L2
4-M3×0.5
6
4.6
3.8
24
4-M3×0.5
수평 다기능 타입 (범위 : 450-1000mm )
40
9
20
36
6.6
36
16.3
36
6
35.4
72.7
40
9
6.6
36
16.6
20
2.5
18.5
3.8
230
250
270
370
1.6
41.3
4.6
24
4
G
무게
L2
185
235
287
420
12
7
3.5
2.3
14.3
13.5
9
L1
209
259
311
444
L1
L2
6
4-M3×0.5
9
24
수직 다기능 타입 (범위 : 100-300mm )
L1
L2
84
40
20
9
6.6
31
22
수평 다기능 타입 (범위 : 100-300mm )
22
70.8
4-M3×0.5
8
38.9
16
29
59.2
71.1
13.5 40
36
측정범위
100mm
150mm
200mm
300mm
14.6
35
6
40.7
10
L1
L2
L2
H-5
측정범위
L1
L2
무게
100mm
150mm
200mm
300mm
450mm
600mm
800mm
1000mm
244
294
344
444
594
774
974
1174
220
270
320
420
570
750
950
1150
250
280
310
370
760
900
1710
2040
리니어 스케일
리니어 엔코더 시스템
시스템 가이드
인크리멘탈 스케일 유닛
AT 모델 - 밀폐 타입 사인파 출력
H
표준 스파 타입: AT103
KA 카운터
경제적인 슬림 스파 타입: AT116
KLD200 카운터
슬림 스파 타입: AT113
초슬림 스파 타입: AT112
밀폐 타입: AT181
펄스 신호 유닛
PSU-200
뛰어난 방진/충격 방지 타입: AT402E
구형파 출력
표준 스파 타입: AT203
슬림 스파 타입: AT216-T / AT216-TL
슬림 스파 및 고속 타입: AT211
ST 모델 - 노출 타입 -
다양한
NC
콘트롤러
사인파 및 구형파 출력
고정도 타입: ST36
표준 타입: ST24 / ST44
펄스 신호 유닛
PSU-200
콤팩트 타입: ST422 /ST46
앱솔루트 스케일 유닛
AT 모델 - 밀폐 타입 뛰어난 내환경성 타입: AT715
표준 타입: AT300
슬림 스파 타입: AT500
ST 모델 - 노출 타입 뛰어난 내환경성 타입: ST700
H-6
KA 카운터
KLD200 카운터
AT103 리니어 스케일
539 시리즈 ― 표준 스파 타입
테크니컬 데이터
유효 범위 : 100 - 6000mm
20ºC 에서의 정도 :
유효 범위 표준 타입 특징
고정도 타입
100 - 2000mm (5+5L/1000)μm (3+3L/1000)μm
2200 - 3000mm (5+5L/1000)μm ―
3250 - 6000mm (5+8L/1000)μm ―
L = 유효 범위 (mm)
출력 파형 : 90° 위상차 2 상 정현파 신호
최대 응답 속도 : 120m/min (3000mm 이하)
50m/min (3250mm 및 이상)
스케일 격자 피치 : 20μm
스케일 기준점 피치 : 50mm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
작동 온도 : 0ºC - 45ºC
• 열악한 환경에서 안전한 작동을 위해
견고한 신호 케이블이 DRO 카운터와
스케일 유닛을 연결하는데 사용된다.
• 신호 케이블 콘센트가 슬라이드 양쪽에
있어 신호 케이블을 양방향으로 연결할
수 있다 .
• 방진성 및 내구성이 향상되었다.
• 혁신적인 고무 립으로 작업장 내 오염을
방지한다.
H
옵션 악세서리
09AAA033A: 연장 케이블 (2m)
09AAA033B : 연장 케이블 (5m)
09AAA033C : 연장 케이블 (7m)
단위: mm
80
37.5
3m 이하
95.5
37.5
3m 이상
사양
유효 범위
100mm
150mm
200mm
250mm
300mm
350mm
400mm
450mm
500mm
600mm
700mm
750mm
800mm
900mm
1000mm
1100mm
1200mm
1300mm
1400mm
1500mm
1600mm
주문번호
(표준)
539-111-30
539-112-30
539-113-30
539-114-30
539-115-30
539-116-30
539-117-30
539-118-30
539-119-30
539-121-30
539-123-30
539-124-30
539-125-30
539-126-30
539-127-30
539-128-30
539-129-30
539-130-30
539-131-30
539-132-30
539-133-30
주문번호
(고정도)
539-111-40
539-112-40
539-113-40
539-114-40
539-115-40
539-116-40
539-117-40
539-118-40
539-119-40
539-121-40
539-123-40
539-124-40
539-125-40
539-126-40
539-127-40
539-128-40
539-129-40
539-130-40
539-131-40
539-132-40
539-133-40
신호 케이블
길이
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
유효 범위
1700mm
1800mm)
2000mm
2200mm
2400mm
2500mm
2600mm
2800mm
3000mm
3250mm
3500mm
3750mm
4000mm
4250mm
4500mm
4750mm
5000mm
5250mm
5500mm
5750mm
6000mm
상세한 사항은 DRO 시스템 카탈로그
(E4072) 참조
H-7
주문번호
(표준)
539-134-30
539-135-30
539-136-30
539-137-30
539-138-30
539-139-30
539-140-30
539-141-30
539-142-30
539-143-30
539-144-30
539-145-30
539-146-30
539-147-30
539-148-30
539-149-30
539-150-30
539-151-30
539-152-30
539-153-30
539-154-30
주문번호
(고정도)
539-134-40
539-135-40
539-136-40
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
신호 케이블
길이
5m
5m
5m
5m
7m
7m
7m
7m
7m
10m
10m
10m
10m
10m
10m
15m
15m
15m
15m
15m
15m
AT116 리니어 스케일
539 시리즈 ― 경제적인 슬림 스파 타입
특징
• 밀링 머신 , XY 테이블, 지그 등에 적합하다.
• AT113 리니어 스케일 유닛과 치수가
호환된다.
테크니컬 데이터
유효 범위 : 100 - 1500mm
20ºC 에서의 정도 : (5+5L/1000)μm
L = 유효 범위 (mm)
출력 파형 : 90° 위상차 2 상 정현파 신호
최대 응답 속도 : 50m/min
스케일 격자 피치 : 20μm
스케일 기준점 피치 : 50mm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
작동 온도 : 0ºC - 45ºC
단위: mm
52
22
옵션 악세서리
H
09AAA720A: 연장 케이블 (2m)
09AAA720B : 연장 케이블 (5m)
09AAA720C : 연장 케이블 (7m)
사양
유효 범위
100mm
150mm
200mm
250mm
300mm
350mm
400mm
450mm
500mm
600mm
주문번호
539-271-30
539-272-30
539-273-30
539-274-30
539-275-30
539-276-30
539-277-30
539-278-30
539-279-30
539-281-30
신호 케이블 길이
3.5m
3.5m
3.5m
3.5m
3.5m
3.5m
3.5m
3.5m
3.5m
3.5m
유효 범위
700mm
750mm
800mm
900mm
1000mm
1100mm
1200mm
1300mm
1400mm
1500mm
주문번호
539-283-30
539-284-30
539-285-30
539-286-30
539-287-30
539-288-30
539-289-30
539-290-30
539-291-30
539-292-30
신호 케이블 길이
3.5m
3.5m
3.5m
3.5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
AT113 리니어 스케일
테크니컬 데이터
539 시리즈 ― 슬림 스파 타입
단위: mm
유효 범위 : 100 - 1500mm
20ºC 에서의 정도 :
표준 타입 (5+5L/1000)μm
고정도 타입 (3+3L/1000)μm
L = 유효 범위 (mm)
출력 파형 : 90° 위상차 2 상 정현파 신호
최대 응답 속도 : 120m/min
스케일 격자 피치 : 20μm
스케일 기준 피치 : 50mm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
작동 온도 : 0ºC - 45ºC
22
52
옵션 악세서리
09AAA033A: 연장 케이블 (2m)
09AAA033B : 연장 케이블 (5m)
09AAA033C : 연장 케이블 (7m)
사양
유효 범위
100mm
150mm
200mm
250mm
300mm
350mm
400mm
450mm
500mm
600mm
주문번호
(표준)
539-201-30
539-202-30
539-203-30
539-204-30
539-205-30
539-206-30
539-207-30
539-208-30
539-209-30
539-211-30
주문번호
(고정도)
539-201-40
539-202-40
539-203-40
539-204-40
539-205-40
539-206-40
539-207-40
539-208-40
539-209-40
539-211-40
신호 케이블
길이
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
H-8
유효 범위
700mm
750mm
800mm)
900mm
1000mm
1100mm
1200mm
1300mm
1400mm
1500mm
주문번호
(표준)
539-213-30
539-214-30
539-215-30
539-216-30
539-217-30
539-218-30
539-219-30
539-220-30
539-221-30
539-222-30
주문번호
(고정도)
539-213-40
539-214-40
539-215-40
539-216-40
539-217-40
539-218-40
539-219-40
539-220-40
539-221-40
539-222-40
신호 케이블
길이
3m
3m
3m
3m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
상세한 사항은 DRO 시스템 카탈로그
(E4072) 참조
AT112 리니어 스케일
539 시리즈 ― 수퍼 슬림 스파 타입
테크니컬 데이터
유효 범위 : 50 - 1020mm
20ºC 에서의 정도 :
표준 타입 (5+5L/1000)μm
고정도 타입 (3+3L/1000)μm
L = 유효 범위 (mm)
출력 파형 : 90° 위상차 2 상 정현파 신호
최대 응답 속도 : 72m/min
스케일 격자 피치 : 20μm
스케일 기준점 피치 : 50mm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
작동 온도 : 0ºC - 45ºC
단위: mm
44.5
15.4
H
옵션 악세서리
09AAA033A: 연장 케이블 (2m)
09AAA033B : 연장 케이블 (5m)
09AAA033C : 연장 케이블 (7m)
사양
유효 범위
50mm
70mm
120mm
170mm
220mm
270mm
320mm
370mm
420mm
470mm
테크니컬 데이터
유효 범위 : 100 - 600mm
20ºC 에서의 정도 :
표준 타입 (5+5L/1000)μm
고정도 타입 (3+3L/1000)μm
L = 유효 범위 (mm)
출력 파형 : 90° 위상차 2 상 정현파 신호
최대 응답 속도 : 50m/min
스케일 격자 피치 : 20μm
스케일 기준점 피치 : 50mm
방진 / 방수 보호 등급 : IP54
작동 온도 : 0ºC - 45ºC
주문번호
( 표준)
539-251
539-252
539-253
539-254
539-255
539-256
539-257
539-258
539-259
539-260
주문번호
(고정도)
539-251-10
539-252-10
539-253-10
539-254-10
539-255-10
539-256-10
539-257-10
539-258-10
539-259-10
539-260-10
신호 케이블
길이
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
유효 범위
520mm
570mm
620mm
670mm
720mm
770mm
820mm
920mm
1020mm
주문번호
( 표준)
539-261
539-262
539-263
539-264
539-265
539-266
539-267
539-268
539-269
주문번호
(고정도)
539-261-10
539-262-10
539-263-10
539-264-10
539-265-10
539-266-10
539-267-10
539-268-10
539-269-10
신호 케이블
길이
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
AT181 리니어 스케일
539 시리즈 ― 완전 밀폐 타입 (고성능 방수 설계)
옵션 악세서리
09AAA033A: 연장 케이블 (2m)
09AAA033B : 연장 케이블 (5m)
09AAA033C : 연장 케이블 (7m)
사양
단위: mm
70
42
유효 범위
100mm
150mm
200mm
250mm
300mm
350mm
400mm
450mm
500mm
550mm
600mm
상세한 사항은 DRO 시스템 카탈로그
(E4072) 참조
H-9
주문번호
(표준)
539-301
539-302
539-303
539-304
539-305
539-306
539-307
539-308
539-309
539-310
539-311
주문번호
(고정도)
539-301-10
539-302-10
539-303-10
539-304-10
539-305-10
539-306-10
539-307-10
539-308-10
539-309-10
539-310-10
539-311-10
신호 케이블
길이
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
3m
AT402E 리니어 스케일
539 시리즈 ― 뛰어난 방진 / 충격 방지 타입
테크니컬 데이터
특징
• 단순하고 저렴한 앱솔루트 측정 시스템을
위한 앱솔루트 간격 코드
• 120m/min 고속 응답 속도
•±2μm ( 540mm 이하 ) 의 뛰어난 측정 정도
• 무거운 절삭 기계 공구와 함께 사용하기
위한 세계 최상급의 방진 (20G) 및 충격
방지 (40G)
• 직선성 및 부드러운 연장, 온도 변화에 따른
수축을 위한 다점 탄성 고정
• 다양한 장비 콘트롤러와 뛰어난 접속을
위한 1Vpp/20μm 신호 출력
유효 범위 : 140 - 3040mm
정도 ( 20ºC 에서):
140 - 540mm ±2μm
640 - 940mm ±3μm
1040 - 3040mm ±3μm/m
출력 신호 : 90° 위상차 2 상 정현파 신호 (1 Vpp)
최대 응답 속도 : 120m/min
신호 출력 피치 : 20μm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
작동 온도 : 0ºC - 45ºC
H
!
사양
"
주문번호
주문번호
(케이블 비포함) (케이블 A 포함)
539-371-00 539-371-01
539-373-00 539-373-01
539-374-00 539-374-01
539-375-00 539-375-01
539-376-00 539-376-01
539-377-00 539-377-01
539-378-00 539-378-01
539-379-00 539-379-01
539-380-00 539-380-01
539-381-00 539-381-01
539-382-00 539-382-01
539-383-00 539-383-01
539-384-00 539-384-01
539-385-00 539-385-01
539-386-00 539-386-01
539-387-00 539-387-01
539-388-00 539-388-01
539-389-00 539-389-01
539-390-00 539-390-01
539-391-00 539-391-01
539-392-00 539-392-01
539-393-00 539-393-01
539-394-00 539-394-01
539-395-00 539-395-01
유효
길이
140
240
340
440
540
640
740
840
940
1040
1140
1240
1340
1440
1540
1640
1740
1840
2040
2240
2440
2640
2840
3040
주문번호
(케이블 B 포함)
539-371-02
539-373-02
539-374-02
539-375-02
539-376-02
539-377-02
539-378-02
539-379-02
539-380-02
539-381-02
539-382-02
539-383-02
539-384-02
539-385-02
539-386-02
539-387-02
539-388-02
539-389-02
539-390-02
539-391-02
539-392-02
539-393-02
539-394-02
539-395-02
주문번호
(케이블 C 포함)
539-371-03
539-373-03
539-374-03
539-375-03
539-376-03
539-377-03
539-378-03
539-379-03
539-380-03
539-381-03
539-382-03
539-383-03
539-384-03
539-385-03
539-386-03
539-387-03
539-388-03
539-389-03
539-390-03
539-391-03
539-392-03
539-393-03
539-394-03
539-395-03
L1
(mm)
L2
(mm)
L3
(mm)
n
259
359
459
559
659
759
859
959
1059
1159
1259
1359
1459
1559
1659
1759
1859
1959
2159
2359
2559
2759
2959
3159
135
185
235
285
335
385
435
485
535
585
635
685
735
785
835
885
935
985
1085
1185
1285
1385
1485
1585
150
250
350
450
550
650
750
850
950
1050
1150
1250
1350
1450
1550
1650
1750
1850
2050
2250
2450
2650
2850
3050
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
21
23
25
27
29
31
케이블 A: 리드 와이어 타입
케이블 길이: 3m
케이블 B: 유로 콘트롤러에 접속 가능
케이블 길이: 3m
케이블 C: FANUC 신호 보드 C에 접속 가능
케이블 길이: 3m
치수
0.05/500
P100 ±0.2
0.1 R
방향
* 길이
37
(디텍터 헤드와
알루미늄 프레임
사이의 레벨 갭)
ø7 관통 홀
ø6.5
25
*길이 방향
2±0.1
(알루미늄 프레임)
ø6 관통
6
35
10.4
39.8
85
*수직 방향
최대 이동 거리 L3=L0+10
(유효 길이 L0)
L2=(L0/2)+65
P100 x n
R *알루미늄 프레임
0.1 G
62 ±0.1
58.5
27.6
(14.8)
13
G
*알루미늄
프레임
공기 제거
M5x0.8 깊이 5
1.5 ±0.1 (디텍터 헤드와 알루미늄
프레임 사이의 레벨 갭)
단위:mm
M5x0.8 길이 25
(스프링 워셔, 소형 원형
전용 판 스프링
소형 원형 평면 워셔)
(탄성 고정 위치)
25
(검출 헤드)
ex.1
5
S *부착하는 반대쪽
0.1 P
*길이 방향
*수직 방향
*부착하는 반대쪽
P
40 ±0.2
90
신호 케이블
(19)
유효 길이 L0
전체 길이 L2=L0+119
19 ±2
0.1 G
7
2-M5 길이 5
76 ±0.2
5 25 ±0.2
0.05/500
너트 M6
ex.2
ex.3
주: 1. “G” 는 장비 가이드를 표시한다.
2. “P” 는 알루미늄 프레임을 부착하는 반대쪽을 표시한다.
"S"는 검출 헤드를 부착하는 반대쪽을 표시한다.
3. "Q" 및 "R"은 부착하는 리니어 스케일 기준면을 표시한다.
육각 소켓 볼트 M5
H-10
상세한 사항은 리니어 스케일 AT402E
(E4287) 카탈로그 참조
AT715 리니어 스케일
539 시리즈 ― 앱솔루트 및 뛰어난 내환경성 타입
특징
( 상세 내용은 VIII 페이지 참조 )
( 상세 내용은 VIII 페이지 참조 )
• ABSOLUTE® 전자기 유도 시스템을 사용해
IP67 의 내환경성을 달성했다 .
• 절대 위치 검출 출력 - 전원을 켤 때마다
기준점을 설정할 필요가 없다 .
• 전자 노이즈로 인한 비정상적인 계산은
저장되지 않는다 .
• 소형 선반의 X 축 장착에 적합하다 . 스케일
본체는 양방향으로 장착할 수 있어, 장착
위치를 잡기 어려운 기계 공구에도 쉽게
장착할 수 있다 .
테크니컬 데이터
유효 범위 : 100 - 3000mm
20ºC 에서의 정도 : ±5μm (L0: 100 - 500mm)
H
±7μm (L0: 600 - 1800mm)
±10μm (L0: 2000 - 3000mm)
L0 = 유효 범위 (mm)
측정 방식 : 전자기 유도 시스템
최대 응답 속도 : 50m/min
방진 / 방수 보호 등급 : IP67
작동 온도 : 0ºC - 45ºC
사양
100mm
150mm
200mm
250mm
300mm
350mm
400mm
450mm
500mm
600mm
700mm
750mm
주문번호 L1
(mm)
539-801 120
539-802 170
539-803 220
539-804 270
539-805 330
539-806 380
539-807 430
539-808 480
539-809 540
539-811 640
539-813 740
539-814 780
L2
(mm)
258
308
358
408
468
518
568
618
678
778
878
918
L3
(mm)
242
292
342
392
452
502
552
602
662
762
862
902
L4
(mm)
278
328
378
428
488
538
588
638
698
798
898
938
L5
(mm)
—
—
—
—
—
—
—
—
339
389
439
459
L6
(mm)
—
—
—
—
—
—
—
—
331
381
431
451
L7
(mm)
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
—
케이블
(m)
3.5
3.5
3.5
3.5
3.5
3.5
3.5
3.5
3.5
3.5
3.5
3.5
800mm
900mm
1000mm
1100mm
1200mm
1300mm
1400mm
1500mm
1600mm
1700mm
1800mm
2000mm
2200mm
2400mm
2500mm
2600mm
2800mm
3000mm
옵션 악세서리
09AAB674A: 연장 케이블 (2m)
09AAB674B : 연장 케이블 (5m)
09AAB674C : 연장 케이블 (7m)
주문번호 L1
(mm)
539-815 840
539-816 940
539-817 1040
539-818 1140
539-819 1240
539-820 1340
539-821 1440
539-822 1540
539-823 1640
539-824 1740
539-825 1840
539-860 2040
539-861 2240
539-862 2440
539-863 2540
539-864 2640
539-865 2840
539-866 3040
유효 길이 L0
L2
(mm)
978
1078
1178
1278
1378
1478
1578
1678
1778
1878
1978
2178
2378
2578
2678
2778
2978
3178
L4
(mm)
998
1098
1198
1298
1398
1498
1598
1698
1798
1898
1998
2198
2398
2598
2698
2798
2998
3198
L5
(mm)
489
539
589
424
459
494
524
559
459
479
459
539
469
509
529
549
489
529
L6
(mm)
481
531
581
416
451
486
516
451
451
471
451
531
461
501
521
541
481
521
L7
(mm)
—
—
—
430
460
490
530
560
430
460
530
550
480
520
540
560
500
530
케이블
(m)
3.5
3.5
5
5
5
5
5
5
5
5
5
5
5
7
7
7
7
7
치수
장착 방법 A
1
22
12
5
1
0.3
C-C' 단면 치수
25.7 17.5
23.2
ø9
7
14
10
중간 지지대 위치 L6
중간 지지대: 장착 방법 B조정가능
5
24
C'
중간 지지대: 장착 방법 C조정가능
2-M4 길이 5
5
9
2.5
2-R
50 ±0.2
12 ±0.2
C
B'
18
G: 장비 가이드
장착 홀 피치 L3
2-ø7
ø14 접시머리 홀, 깊이 6.5
B
1
1
중간 지지대 (V)
조정가능
B-B' 단면 치수
장착 방법 B,C
신호 케이블
60
4.5 15.5
1
(54.7)
중간 지지대 (V)
조정가능
C-C' 단면 치수
장착 방법 C
(54.7)
53.7
50±0.2
70
13
41
53.7
0.7
0.2 G
19
12
0.1 A
블록 스페이서
2.5 중간 지지대: 장착 방법 A조정가능
2-R
(1.5)
A
장착 방법 B
중간 지지대 위치 L7
접시머리 홀, 깊이 6.5
16
1
1.5±0.2
36.5
(54)
중간 지지대 위치 L5
19
1.5±0.2
단위:mm
총 길이 L4
장착 홀 피치 L2
최대 이동 거리 L1
유효 길이 L0
10
상세한 사항은 리니어 스케일 AT715
(E4296) 카탈로그 참조
L3
(mm)
962
1062
1162
1262
1362
1462
1562
1662
1762
1862
1962
2162
2362
2562
2662
2762
2962
3162
5
유효 길이 L0
중간 지지대 위치 L7
54
(54.7)
H-11
0.2 G
KA 카운터
174 시리즈 ― 표준 타입
특징
테크니컬 데이터 : 공통
• KA 카운터는 파라미터를 수정해“표준
카운터”또는“선반 카운터”로 사용할 수
있다.
• 기존 AT100 시리즈 광학 스케일과 신형
AT715 전자기 유도 스케일 둘 다 연결할 수
있다.
• 새로운 10 가지 좌표 기능 및 기존 KL
카운터의 기능이 있는 가격 대비 고성능의
2/3 축 카운터
스케일 입력 포트 : 2, 3
분해능 : 0.001mm, 0.005mm ( 변환 가능)
디스플레이 : 7 자리 LED a 및 [-] 신호
공급 전원 : 100V-240V AC, 50/60Hz
무게 : 1.25kg ( 2 축), 1.33kg ( 3 축)
옵션 악세서리
938140: 터치 신호 프로브 (생크 직경 : 20mm )
935094: 터치 신호 프로브 (생크 직경 : 32mm )
09CAB217: RS232C 코드 출력 유닛
H
174-173
(1 축 또는 2 축용)
데이텀 점 설정 (측정물의 엣지를 감지해
카운터 디스플레이를 0 으로 설정), 측정물
센터링 및 치수 측정 (측정물의 끝점을
검출해 카운터 디스플레이를 홀딩) 과
같은 작업을 쉽게 수행할 수 있다.
174-175
( 3 축용)
기능
카운터
특징
주문번호
스케일 입력 포트
174-173*
2
174-175*
3
* AC 라인 전압을 나타내기 위해서 다음 기호를 주문번호에 추가한다 : UL/
CSA 는 A, 아시아는 B, CEE 는 D, CCC 는 DC, BS 는 E, SAA 는 F, EK 는 K, JIS/100V 에 대해서는 무기호임
치수
260
80
43
206
(1)
167
단위:mm
장착 나사 x2 (M5)
H-12
기능
KA
직경 디스플레이
2 스케일 데이터 합계
직선성 오차 보정
스무딩 기능
RS-232C 인터페이스 유닛
BCD 코드 출력
리미트 신호 출력
영점 설정
프리셋
분해능 설정
측정 방향 설정
1/2 연산
ABS/INC 좌표 선택
하위 자릿수 비표시
메모리 백업
팽창 / 수축 계수 설정
영점 접근 머시닝 (INC 모드)
볼트 구멍 서클 머시닝
터치 신호 프로브
스케일 기준점 설정
최대 / 최소값 홀드
l
l
l
l
s
—
—
l
l
l
l
l
l
l
l
—
l
l
s*
l
—
l : 표준 제공 , s : 옵션 악세서리, — : 이용 불가
s*: AT100 시리즈에만 사용 가능
KLD
200
l
—
l
l
l
s
l
l
l
l
l
l
—
l
l
l
—
—
s
l
l
KLD200 카운터
174 시리즈 ― 리미트 신호 출력 기능이 있는 특수 목적용 타입
주문번호 *:
특징
174-146 ( 2 단 리미트 신호 출력)
174-147 (4 단 리미트 신호 출력)
* AC 라인 전압을 나타내기 위해서 다음 기호를 주문번호에 추가한다 :
UL/CSA 는 A, CEE 는 D, CCC 는 DC, BS 는 E, SAA 는 F, EK 는 K, JIS/100V 에 대해서는 무기호임
• 리니어 스케일의 변위값 및 프리셋 리미트
값이 일치하는 경우 신호 전송에 전용으로
사용하는 1 축 카운터
• 두 타입의 리미트 설정이 가능하다 : 2 단 및
4단
• EDM 또는 그라인딩 머신의 수직 위치
제어에 적합하다.
• RS-232C 인터페이스 또는 리미트 신호 출력
(표준 기능) 을 통해 PC 또는 시퀀서에 연결
가능하다.
테크니컬 데이터 : 공통
리미트 출력 신호 : 2 단, 4 단
스케일 입력 포트 : 1
분해능 :
0.001mm (지시범위: -9999.999mm~+99999.999mm)
0.005mm (지시범위: -9999.995mm~+99999.995mm)
디스플레이 : 8 자리
리미트 값 세팅 방법 : 디지털 스위치
공급 전원 : 100V-240V AC, 50/60Hz
무게 : 3.0kg ( 2 단 리미트 신호 출력 타입)
3.1kg ( 4 단 리미트 신호 출력 타입)
H
옵션 악세서리
174-147
치수
965004: 외부 로드 풋 스위치
937326: 외부 로드 박스
936551: 외부 영점 설정 박스
938140: 터치 신호 프로브 (생크 직경 : 20mm)
935094: 터치 신호 프로브 (생크 직경 : 32mm)
PSU-200
539 시리즈 ― 펄스 신호 변환 인터페이스
특징
치수
단위:mm
100
15
28
7.5
무게 : 620g
• 사인파 신호 출력을 사용하는 리니어
스케일과 호환된다.
• 구형파 신호 출력 ( EIA 표준 RS422-A 준수)
• 선의 절단 또는 검출기의 회로 단락 ,
검출기로부터 입력 신호의 오버스피드 에러
및 파동 에러를 검출해 알리는 기능이 있다.
2-ø5
190
175 장착 홀 피치
사양
주문번호
축수
편차 수
기능
539-005
1
4, 8, 10, 20, 40, 80, 100 , 200 (교체 가능)
분할 설정 , 최소 엣지 간격 설정 , LED 표시
(알람 , 원점 검출 , 저전력 공급 전압), 알람
출력 모드 변환
공급 전원
소비 전력
5V DC ±5%
200mA
H-13
단위:mm
AT203 리니어 스케일
539 시리즈 ― 표준 스파 타입
테크니컬 데이터
특징
유효 범위 : 100 - 6000mm
정도 ( 20ºC 에서):
• NC 공작기계의 피드백 시스템에 적합한
밀폐형 인크리멘탈 리니어 스케일
• NC 공작기계와 직접 연결할 수 있다.
!
"
100 ~ 1500mm (3+3L/1000)μm
1600 ~ 3000mm (5+5L/1000)μm
3250 ~ 6000mm (5+8L/1000)μm
L= 유효 범위 (mm)
출력 신호 : 90° 위상차 2 상 구형파
최대 응답 속도 : 11-120m/min
분해능 : 0.1, 0.5, 1μm
스케일 기준점 피치 : 50mm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
H
수치 이동 제어 시스템 적용
다양한 범위에 적용되는 고정도의 리니어 측정
시스템이다. 측정 장비 및 유닛뿐만 아니라 기계
공구, 광학, 데이터 장비, 산업용 로봇 등을
포함하는 정밀 기계 및 유닛에 내장될 수 있도록
설계되었다. 두 가지 타입을 이용할 수 있다: AT
시리즈는 고정도의 글래스 스케일과 알루미늄
케이스로 보호되는 검출기 헤드가 있어 내구성
및 내진성이 뛰어나다; 휴대가 매우 간편하며
경량인 ST 시리즈는 스케일과 검출기 헤드가
분리되어 있다 .
사양
유효 범위
100mm
150mm
200mm
250mm
300mm
350mm
400mm
450mm
500mm
600mm
700mm
750mm
800mm
900mm
1000mm
1100mm
1200mm
1300mm
1400mm
1500mm
1600mm
주문번호
539-411-30
539-412-30
539-413-30
539-414-30
539-415-30
539-416-30
539-417-30
539-418-30
539-419-30
539-421-30
539-423-30
539-424-30
539-425-30
539-426-30
539-427-30
539-428-30
539-429-30
539-430-30
539-431-30
539-432-30
539-433-30
신호 케이블 길이
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
유효 범위
1700mm
1800mm
2000mm
2200mm
2400mm
2500mm
2600mm
2800mm
3000mm
3250mm
3500mm
3750mm
4000mm
4250mm
4500mm
4750mm
5000mm
5250mm
5500mm
5750mm
6000mm
주문번호
539-434-30
539-435-30
539-436-30
539-437-30
539-438-30
539-439-30
539-440-30
539-441-30
539-442-30
539-443-30
539-444-30
539-445-30
539-446-30
539-447-30
539-448-30
539-449-30
539-450-30
539-451-30
539-452-30
539-453-30
539-454-30
신호 케이블 길이
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
5m
그림 1
전자 산업용 로봇에
고속, 고정도 설치
AT216-T / AT216-TL 리니어 스케일
그림 2
반도체 생산
과정에서 다이싱
위치 결정
특징
그림 3
와이어 본딩을
위한 IC 팁 위치 결정
539 시리즈 ― 슬림 실드 타입
• NC 공작기계의 피드백 시스템에 적합한
밀폐형 슬림 인크리멘탈 리니어 스케일
• NC 공작기계와 직접 연결할 수 있다.
그림 4
디스크 드라이브
시스템의 탐색
시간 향상
AT216-T 모델
테크니컬 데이터
!
"
유효 범위 : 100 - 1500mm
정도 ( 20ºC 에서): (5+5L/1000)μm
L = 유효 범위 (mm)
출력 신호 : 90° 위상차 2 상 구형파
신호 출력 피치 : 20μm
최대 응답 속도 : 48m/min: AT216-T
50m/min: AT216-TL
분해능 : 5μm:AT216-T
1μm:AT216-TL
스케일 기준점 피치 : 50mm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
H-14
AT211A / AT211B 리니어 스케일
539 시리즈 ― 슬림 스파 / 고속 타입
테크니컬 데이터
유효 범위 : 100 - 1500mm
20ºC 에서의 정도 :
유효 범위 표준 타입 특징
고정도 타입
100 - 500mm (3+3L/1000)μm (2+2L/1000)μm
500 - 1500mm (3+3L/1000)μm ―
L = 유효 범위 (mm)
출력 신호 : 90° 위상차 2 상 구형파
최대 응답 속도 : 5.4 - 120m/min
분해능 : 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2.5, 5μm
신호 출력 피치 : 20μm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
• 고분해능, 고정도 밀폐형 리니어 스케일,
반도체 제조 시스템, CNC 기계 공구
등의 기계 위치 결정의 피드백 제어에
이상적이다.
• 두 종류의 모델을 선택할 수 있다: 진동과
충격에 강한 다점 설치 타입인 AT211A 와
기계 양 끝에 부착하는 AT211B 가 있다.
AT211B 는 AT111 슬림 타입과 호환
가능하다 .
H
AT211A
AT211B
!
"
H-15
AT300 리니어 스케일
539 시리즈 ― 앱솔루트 및 표준 스파 타입
특징
• 0.05μm 까지의 매우 미세한 분해능을 갖는
밀폐 타입 앱솔루트 리니어 스케일이다 .
• NC 기계 공구와 직접 연결할 수 있다 .
- ABS AT303: 미쓰도요 표준 시리얼 인터페이스를 지원한다 .
- ABS AT343: 미쓰비시 전자 고속 시리얼 인터페이스를 지원한다 .
- ABS AT353: Fanuc 고속 시리얼 인터페이스를 지원한다.
( 상세 내용은 VIII 페이지 참조 )
테크니컬 데이터
유효 범위 : 100 - 3000mm
정도 (20ºC 에서):
100 - 1500mm (3+3L/1000)μm
1600 - 3000mm (5+5L/1000)μm
L = 유효 범위 (mm)
신호 출력 피치 : 20μm
최대 응답 속도 : 120m/min
분해능 : 0.05μm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
H
상세한 사항은 NC 리니어 스케일
카탈로그 (E4189) 참조
AT500 리니어 스케일
539 시리즈 ― 앱솔루트 및 슬림 스파 타입
특징
• 0.05/0.005μm 까지의 매우 미세한 분해능을
갖는 밀폐형 앱솔루트 리니어 스케일이다 .
• NC 기계 공구와 직접 연결할 수 있다 .
ABS AT505/AT503: 미쓰도요 표준 시리얼
인터페이스를 지원한다 .
- ABS AT545/AT543: 미쓰비시 전자 고속 시리얼 인터페이스를 지원한다 .
- ABS AT555/AT553: Fanuc 고속 시리얼 인터페이스를 지원한다 .
( 상세 내용은 VIII 페이지 참조 )
• 2 가지 타입을 이용할 수 있다 :
- S 모델 : 고강도 타입
- H 모델 : 고정도 타입
테크니컬 데이터
유효 범위 :
- S 모델 - H 모델 정도 (20ºC 에서 ):
- S 모델 - H 모델
100 - 2200mm
100 - 1000mm
(3+3L/1000)μm
(2+2L/1000)μm
L = 유효 범위 (mm)
신호 출력 피치 : 20μm
최대 응답 속도 : 150m/min
(72m/min: ABS AT5_5-H 모델)
분해능 :
ABS AT5_5 모델 : 0.005μm
ABS AT5_3 모델 : 0.05μm
방진 / 방수 보호 등급 : IP53
AT533-HC
AT533-SC
상세한 사항은 ABS 리니어 스케일 AT500-S/H
카탈로그 (E4265) 참조
H-16
ST700 리니어 스케일
579 시리즈 ― 앱솔루트 및 뛰어난 내환경성 타입
특징
( 상세 내용은 VIII 페이지 참조 )
테크니컬 데이터
유효 범위 : 100 - 6000mm
정도 ( 20ºC 에서): (5+5L/1000)μm
L = 유효 범위 (mm)
측정 방식 : 전자기 유도 시스템
분해능 : 0.1, 0.5μm
최대 응답 속도 : 5000mm/s
• 분리된 형태의 스케일 유닛으로 앱솔루트
측정이 이루어진다.
• 비접촉 검출로 리니어 모터 등의 고속 /
고정도 제어에 최적이다.
• 전자기 유도 시스템으로 물이나 기름에
의한 오염에 매우 강하다.
• 기존 헤드에 비해 1/3 로 크기가 축소된
검출기 헤드
• 네 방향으로 가능한 케이블 연결 포트
• 설치 슬롯이 위쪽 방향과 옆쪽 방향으로
되어 있다 .
• 5+5L/1000μm 의 지시 정도
(기존 스케일 유닛 : 8+5L/1000μm)
*L: 유효 측정 길이 (mm)
• 다양한 브랜드의 서보 증폭기 지원
(고속 시리얼 인터페이스 )
H
ST24/ST44 리니어 스케일
테크니컬 데이터
유효 범위 : 10 - 3000mm
정도 ( 20ºC 에서):
10 - 300mm ±1μm
350 - 500mm ±2μm
600 - 1000mm ±3μm
1100 - 3000mm ±3μm/m
출력 신호 : 90° 위상차 2 상 정현파
90° 위상차 2 상 구형파
스케일 격자 피치 : 20μm
신호 출력 피치 : ST24: 10μm
ST44: 20μm
분해능 : ST24: 0.05, 0.1, 0.5, 1μm
ST44: 0.05, 0.1, 0.5, 1, 5μm
최대 응답 속도 : ST24: 1200mm/s
ST44: 2400mm/s
579 시리즈 ― 표준 타입
특징
• 표준 노출 타입 인크리멘탈 리니어 스케일
• 최대 1200mm/s ( ST44: 2400mm/s) 이하의
응답 속도
• 오버스피드와 정현파 신호 이상 에러를
탐지하는 LED 알람 기능이 있다.
!
"
!
"
스케일 기준점 피치 :
10 - 80mm 중심점
100 - 3000mm 50mm
ST24
H-17
ST36 리니어 스케일
579 시리즈 ― 고정도 타입
테크니컬 데이터
특징
• 노출형으로 제작된 고분해능, 고정도의
휴대용 모델
• 안정된 신호 출력으로 신뢰성이 높다.
• 2 상 정현파 신호 (신호 피치 4μm) 및 2 상
방현파 신호를 동시에 출력한다 .
• 콤팩트한 인터페이스 박스에 내장되어
있다.
!
10 - 300mm ±0.5μm
350 - 500mm ±1μm
600 - 1000mm ±2μm
1100 - 3000mm ±2μm/m
출력 신호 : 90° 위상차 2 상 정현파
90° 위상차 2 상 구형파
스케일 격자 피치 : 8μm
신호 출력 피치 : 4μm
분해능 : 0.01, 0.02, 0.05, 0.1μm
최대 응답 속도 : 1200mm/s
스케일 기준점 피치 :
10 - 80mm 중심점
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유효 범위 : 10 - 3000mm
정도 ( 20ºC 에서):
100 - 3000mm 50mm
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ST422 리니어 스케일
579 시리즈 ― 콤팩트 타입
특징
• 콤팩트 노출 타입의 인크리멘탈
리니어 스케일
• 최대 5000mm/s 이하의 높은 응답 속도
• 오버스피드 및 정현파 신호 이상시 LED
에러 표시 기능이 있다.
상세한 사항은 NC 리니어 스케일
카탈로그 (E4189) 참조
테크니컬 데이터
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유효 범위 : 10 - 3000mm
정도 ( 20ºC 에서):
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ST46 리니어 스케일
10 - 300mm ±1μm
350 - 500mm ±2μm
600 - 1000mm ±3μm
1100 - 3000mm ±3μm
출력 신호 : 90° 위상차 2 상 정현파
90° 위상차 2 상 구형파
스케일 격자 피치 : 40μm
신호 출력 피치 : 40μm
분해능 : 0.2, 0.5, 1, 5μm
최대 응답 속도 : 5000mm/s
스케일 기준점 피치 :
10 - 75mm 중심점
100 - 1000mm 50mm
579 시리즈 ― 콤팩트 타입
테크니컬 데이터
특징
• 소형 콘트롤 유닛과 검출기 헤드가 부착된
공간 절약형 디자인
• 최대 3000mm 의 유효 길이를 가져 대형
장치에 사용할 수 있다 .
• 신호 편차의 LED 표시 기능
• 2600mm/s 의 최대 응답 속도
(-3dB 에서 사인파 최대 응답 속도)
유효 범위 : 10 - 3000mm
정도 ( 20ºC 에서): ±1μm, ±2μm, ±3μm
출력 신호 : 90° 위상차 2 상 정현파
90° 위상차 2 상 구형파
스케일 격자 피치 : 20μm
신호 출력 피치 : 20μm
분해능 : 0.05, 0.1, 0.5, 1μm
최대 응답 속도 : 2600mm/s
스케일 기준점 피치 :
10 - 80mm 중심점
100 - 3000mm H-18
50mm
MICSYS-SA1 2D 이미지 연산 엔코더
549 시리즈
테크니컬 데이터
유효 범위 : ±100μm (2D)
정도 (20ºC 에서): ±100nm
분해능 : 1nm
작동 거리 : 10±0.2mm
( 표준 타켓의 두께 포함 : 6.1mm)
직선성 ( 20ºC 에서): 80nm
반복 정도 ( 20ºC 에서): 5nm
특징
• 이미지를 사용한 고정도 2D 엔코더
• 동시에 X-Y 위치 측정
• 나노미터 분해능
• 간편한 정렬
• 미세 팽창 및 굴절 측정 가능
H
H-19
H
H-20